目前對小型精密平麵磨床的評估主要有四種方法：方格法、對角線法、最小二乘法和最小包容區域法。前兩種方法處理比較簡單，在工程現場上應用較多，但其結果存在偏差。最小二乘法也是一種簡單快捷的近似評估方法，易於計算機編程實現，其評估結果誤差相對較小。最小區域法符合國標規定的最小條件原則，其評估結果唯一且比前幾種方法都精確，故而最受重視，實在現相對較為複雜，很多學者采用了各種不同算法來實現該方法。
小型精密平麵磨床在進行最小區域法實現時，各種文獻提供了數十種求解算法逐次兩點誤差分離方法是以采樣公式為分析處理基礎的，但在實際係統中，由於各種因素的影響，采樣獲得的傳感器信息中不僅包含運動副誤差和丈量平麵外形誤差，而且還帶有各種噪聲信號。理論分析和實驗研究情況表明，影響采樣數據的誤差源很多，如漂移誤差、隨機噪聲誤差、采樣量化誤差、擺角誤差、各種低頻振動、導軌運動不平穩等。對於大型 CNC超精密平麵磨床而言，影響在線丈量係統精度的因素主要有以下，幾項：漂移誤差、隨機噪聲誤差、傳感器電源及導軌氣源波動、機床振動.